该晶圆制作厂最靠近华南的地区,主要是生产加工制造8寸大半导体设备晶圆,单日污废水 释放量下跌约800吨。基于生产加工制造工作中利用过多盐酸通过晶圆蚀刻,以至于污废水 中氟化物浓硫酸浓度更是高达200-300mg/L,远超发达国家释放基准(10mg/L下面)。
生活污水组成成分及主要来源
生产废水大部分来源六个教学环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、氯化铵及一定量天价属
生物厂家增加光泽(CMP)化工废水
:含纳米技术级硅颗粒肥料、有机化学络合剂
设施设备的清洗废渣
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机会物
清理方法具体流程
用于"检查是否积淀物+混凝土积淀物+宽度过滤器"两级加工处理系统性:
6级正确处理
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,建立氟化钙奠定,氟化物的还原率达85%
五级办理
:修改PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),清除胶体溶液态被污渍
三类除理
:经由多导电介质滤水器和几丁质酶炭离心分离,出水出水氟化物盐浓度固定在8mg/L这
核心环保设备涵盖:pH定时自动调节设计、斜管奠定池、板框带式压滤机(废水脱水处理)。
既定使用效果
投资项目运作两年检测数据资料提示:
氟化物均衡盐浓度:7.2mg/L(高出國家标准)
COD删去率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年收旧氟化钙副商品约150吨,满足产品化巧用