该厂为8英尺晶圆出产线整套搭配的超注射用水系统，每星期引发含硅废渣150吨。废渣中虽无天价属，但硅含碳量高易结渣，且电阻器率需提高18MΩ·cm就要回收。原先处里加工过程無法需求新公布的《网络化工水生态破坏物尾气排放标准量的标准》（GB39731-2020）尤为尾气排放标准量限制值。 污废水 成份优点 一般的有机废气 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粒子硅（颗粒直径0.1-1μm） 特别的追求 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 水质标准特质 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅化学物质价值形式简化 操作生产技术步骤 的创新应用"梯级膜分开+电去阳离子"組合工艺技术： 微滤预治理 ：1μm陶瓷图片膜截拦大颗粒剂硅，通量长期保持80LMH 阴离子交流聚酯树脂 ：D201大孔硅橡胶采用性离心分离硅酸原子 特殊RO操作系统 ：最段的回收利用率60%，第一段选用高脱硼膜开关元件 EDI电去阴离子 ：电流值孔隙率2A/m²，将持续祛除残余物化合物 紫外光灭菌 ：254nm分光光度计线用量40mJ/cm² 技術成效 发展多功能阻硅剂（生物碳胺类软型物），廷迟膜严重污染周期长3倍 EDI控制器技术创新流道定制，硅我们要除率升级至99.8% 线硅数据分析仪器（测量方法依据0.1-500μg/L）保证 精准脱贫掌握 正常运行取得的成绩 经再者方检查： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降下来0.3μg/L 控制系统回收利用率从原40%上升至68% 膜更換的周期延伸至5年，年行驶资金减少35%