某半导体行业电源芯片产生厂在晶圆加工制作阶段中,适用硅烷实现硅概念成长,排放干洗塔产生高氧浓度含硅电镀电镀废水。电镀电镀废水兼备pH动荡大(2-11)、硅硫含量高的显著特点,老式正确处理的方式易产生硅垢不通状况。
工业废水化学物质及渠道
废污水主耍组成成分为:
溶化性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢腐蚀钠
:洗洁塔碱酸洗洁液存留
科粒硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:制造原材料悬浮物进入
治理 的工艺程序
特色化主要包括"两极结合+膜进行过滤+化掉晶粒"技术:
一級采和
:用CaO可以调节pH至4-5,转成硅酸钙沉淀出的,硅祛除率60%。
二次结合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进1步水解剩的硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜体系
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤程序奈米级硅科粒,通量增强在80LMH。
MVR多效冷疑器
:高浓高盐废气,成果出Na₂SO₄副企业产品,水使用率超90%。
终极目的
总硅从1500mg/L调至5mg/L有以下
砷的含量从0.8mg/L高于0.01mg/L
设备无结渣使用不超2年
第一年收旧盐酸钠尖晶石约800吨