苏州某光电器件集成ic创造厂，晶圆制造工作中引起含硅、氟的特有化工废污水，设计方案治疗整体规模1200吨/日。化工废污水材质错综复杂，有nm级硅粉末及氢氧化钠，中国传统治疗具体方法难标准。 废水处理基本成分及种类 通常环保问题物 ：氢氧化铁硅（100-500nm比表面积）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 原因程序 ：晶圆刻蚀污生产废水 （45%）、CMP化学上的机制镜面抛光污生产废水 （40%）、产品清扫冲洗水（15%） 进行处理的工艺流量 的创新选取"无机化学放置+特中膜拆分"技能自驾线路： 钙盐积累 ：污泥脱水氯化钙避开氟阳离子（转为CaF2沉积） 水解酸化池想法 ：组合二沉池剂做到氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪作他用微细颗粒状 反浸入软件 ：脱盐率>98%，回报率75% 化掉结晶体 ：浓水段实现了氟化物零产生 结果英文治疗效果 氟化物溶液浓度：<8mg/L（远低于的国家五级条件10mg/L） 硅成分：<5mg/L 水能源工业废水处理率：70%用以闭式圆形冷却塔塔皮肤补水 危废处理减药：多效蒸发渣滓量较过去的鑫霖环保减低60%